FD-9104PA硅片拋光機

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所屬系列：硅片研磨拋光機
產品型號：FD-9104PA

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硅片拋光機,FD-9104PA硅片拋光機

FD-9104PA硅片拋光機

主要用途：

廣泛用于多種尺寸的硅片的單面拋光及鏡面拋光。

設備參數：

拋光盤尺寸	Φ910mm
工作工位	4組
陶瓷吸盤直徑	Φ400mm
加壓方式	氣缸加壓
主電機功率	7.5KW/380V
工件盤驅動功率	0.4KW/380V
工作氣壓	0.4-0.6MPa
工件盤轉速	5-40RPM
拋光盤轉速	10-80RPM
加工粗糙度	Ra:0.0002
設備總重量	2300kg
外型尺寸（LWH）	165012002300mm

設備圖片：

9104PA

該拋光機拋光后的效果：

硅片2

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FD-9104PA硅片拋光機

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